Вернуться в "Каталог ГОСТ"
ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.659-2009 |
|---|---|
| Статус: | действующий |
| Тип: | ГОСТ Р |
| Название русское: | Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
| Название английское: | State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure |
| Дата актуализации текста: | 01.12.2016 |
| Дата актуализации описания: | 21.04.2018 |
| Дата издания: | 11.05.2010 |
| Дата введения в действие: | 01.01.2011 |
| Дата последнего изменения: | 11.01.2018 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
| Расположен в: | Общероссийский классификатор стандартов → Метрология и измерения. Физические явления → Метрология и измерения в целом |
Вернуться в "Каталог ГОСТ"
|
|
|