Вернуться в "Каталог ГОСТ"
ГОСТ Р 8.628-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.628-2007 |
|---|---|
| Статус: | действующий |
| Тип: | ГОСТ Р |
| Название русское: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название английское: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 21.04.2018 |
| Дата издания: | 10.02.2011 |
| Дата введения в действие: | 01.02.2008 |
| Дата последнего изменения: | 11.01.2018 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. <br> Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов |
| Список изменений: | №1 от (рег. ) «Срок действия продлен» |
| Расположен в: | Общероссийский классификатор стандартов → Метрология и измерения. Физические явления → Линейные и угловые измерения → Линейные и угловые измерения в целом |
| Приложение №0: | Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007 |
Вернуться в "Каталог ГОСТ"
|
|
|