ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
| Обозначение: | ГОСТ Р 52250-2004 |
|---|
| Статус: | действующий |
|---|
| Тип: | ГОСТ Р |
|---|
| Название русское: | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
|---|
| Название английское: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
|---|
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
|---|
| Дата актуализации описания: | 21.04.2018 |
|---|
| Дата издания: | 02.07.2004 |
|---|
| Дата введения в действие: | 01.01.2005 |
|---|
| Дата последнего изменения: | 11.01.2018 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
| 
