Вернуться в "Каталог ГОСТ"
ГОСТ 8.592-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
| Обозначение: | ГОСТ 8.592-2009 |
|---|---|
| Статус: | действующий |
| Тип: | ГОСТ |
| Название русское: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название английское: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 21.04.2018 |
| Дата издания: | 08.06.2010 |
| Дата введения в действие: | 01.11.2010 |
| Дата последнего изменения: | 11.01.2018 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. <br> Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов |
| Расположен в: | Общероссийский классификатор стандартов → Метрология и измерения. Физические явления → Линейные и угловые измерения → Линейные и угловые измерения в целом |
Вернуться в "Каталог ГОСТ"
|
|
|