Вернуться в "Каталог ГОСТ"
ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.640-2008 |
|---|---|
| Статус: | действующий |
| Тип: | ГОСТ Р |
| Название русское: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Название английское: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 21.04.2018 |
| Дата издания: | 15.05.2008 |
| Дата введения в действие: | 01.01.2009 |
| Дата последнего изменения: | 11.01.2018 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
| Расположен в: | Общероссийский классификатор стандартов → Метрология и измерения. Физические явления → Метрология и измерения в целом |
Вернуться в "Каталог ГОСТ"
|
|
|