Вернуться в "Каталог ГОСТ"
ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
| Обозначение: | ГОСТ 5.2105-73 |
|---|---|
| Статус: | действующий |
| Тип: | ГОСТ |
| Название русское: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
| Название английское: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 21.04.2018 |
| Дата издания: | 04.10.1973 |
| Дата введения в действие: | 31.08.1973 |
| Дата последнего изменения: | 11.01.2018 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| Расположен в: | Классификатор государственных стандартов → Электронная техника, радиоэлектроника и связь → Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники → Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности |
Вернуться в "Каталог ГОСТ"
|
|
|